Bei der Bemessung des Abführungsbetrages an den Entschädigungsfonds nach § 10 Abs. 1 Satz 1 Nr. 3 EntschG ist für die Bestimmung des "vor der Schädigung" zuletzt festgestellten Einheitswerts abzustellen auf den Zeitpunkt der Schädigung des Grundstückes, für das ein Einheitswert festgestellt worden ist. Dies gilt auch dann, wenn es sich bei diesem Grundstück um das Betriebsgrundstück eines Unternehmens handelt, das nach den Feststellungen im vermögensrechtlichen Verfahren von einer Verfolgungsmaßnahme im Sinne des § 1 Abs. 6 VermG betroffen gewesen ist.